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  • 浅析MEMS晶圆级测试的国内外差距
    • 无论从硬件组成还是从测试技术和验证手段比较，目前我们与国际还有一定的差距，主要体现在3个方面 微机电系统（MEMS）属于21 世纪前沿技术，是对MEMS加速度计、MEMS 陀螺仪及惯性导航系统的总称。MEMS 器件特征尺寸从毫米、微米甚至到纳米量级，涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多个学科。在产品的研制方面，能够显著提升装备轻量化、小型化、精确化和集......
    标签： MEMS EMS MS 晶圆级测试 测试 国内外差距 2019-03-28 15:07
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