石墨加工服务与创新中心 (GMSI) 为半导体和 LED 行业提供产品和技术支持。尽管 GMSI 的 Peter Guercio 和他的同事不是显微镜专家，但他们每天都使用 Phenom ProX 台式扫描电镜能谱一体机对先进材料进行研发。
配备有能谱功能（EDS）的 Phenom ProX 台式电镜，可用于工艺控制和产品的质量检测。 实时图像获取与元素分析功能相结合，比以前快 8 倍的速度获取数据，对产品改进至关重要。
从外包测试到内部分析 ✦
几年前, GMSI 还是外包所有的扫描电镜（SEM）测试。因为样品必须送到外面测试，不仅耽误时间还耗费资源。4 年前, GMSI 的实验室购买了飞纳 Phenom 台式扫描电镜。因此，研发进度大大提升，不用再浪费时间等待数据了。
在半导体和 LED 行业中，GMSI 使用化学气相沉积工艺在石墨上生产 SiC 薄膜。他们每天使用 Phenom SEM 进行研发，以及工艺控制和产品质量检测。
使用飞纳台式扫描电镜的优势 ✦
在实验室中拥有一台飞纳电镜可以节约大量时间。Phenom 用于测量加工工艺的相关参数，例如薄膜厚度和表面形态。
飞纳电镜可以立即反馈获得 SiC 扩散到石墨的厚度和表面晶体结构关键数据。对 GMSI 来说, 集成导航相机的快速显微检查是 Phenom 台式 电镜的另一个重要优势。光学导航与电子显微镜图像同步，以显示缺陷所在的位置，从而可以快速寻找特定的感兴趣区域。
以旧换新加速研发进度 ✦
GMSI 将他们之前的飞纳电镜更换成配备 EDS 功能的 Phenom ProX 扫描电镜能谱一体机。EDS 元素分析用于显示薄膜的元素组成，使 可以通过调节沉积参数以获得最 佳化学配比。
最近，得益于 Phenom ProX 的实时图像获取和能谱分析功能，使得 GMSI 新产品投入市场的速度提高了八倍。
Peter 解释到, “如果没有 Phenom ProX 台式扫描电镜，我们不可能开发出最 新的工艺。没有其他设备可以替代飞纳台式扫描电镜的重要作用!”
540 倍下，石墨上 SiC 薄膜（白色层）的 SEM 图像
石墨上 SiC 膜的扫描电镜图片。背散射探头图像可以显示原子衬度，图片上可以看出 SiC 渗入石墨基材中，从而可以有效防止 SiC 脱落。
