自美国提出终断该国企业与华为多年的芯片供应以来，研制中国自己的国产芯片提上了我国的发展日程，也是当前中国市场最为紧迫的一项技术，关于芯片技术发展的讨论不仅在专业领域盛行，也成为了普通民众议论的焦点所在。而芯片的制造离不开半导体设备，其中光刻设备是其中的重中之重。但长期以来，我国的步进式光刻机依赖进口严重。
通过分析海关步进式光刻机的进口情况，可以从一个侧面反映出中国步进式光刻机市场的一些情况。2020年是特殊的一年，新冠肺炎疫情在全球爆发，各行各业都受到了一定的影响，包括半导体产业。为了解过去近两年中步进式光刻机的进出口情况，小编特别对2019、2020年1-12月，步进式光刻机（商品编码84862031、84863031）进出口数据进行了分析汇总，为大家了解中国目前步进式光刻机市场做一个参考。需要注意的是，步进式光刻机主要分为两类，包括制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机（84862031）和制造平板显示器用的分步重复光刻机（84863031）。
2019、2020年1-12月海关步进式光刻机进出口数据统计
从上表可以看到，2020年1-12月，我国共进口步进式光刻机281台，进口额约为155亿元，进口单价约为5522万元。而2019年同期，步进式光刻机进口198台，进口额约为120亿元，进口单价约为6105万元。与去年同期相比，2020年1-12月我国步进式光刻机进口台数增加约42%，进口额增加约28%，进口单价降低约9.55%。从整体来看，2020年进口步进式光刻机市场增长非常明显，同时进口单价也略有降低。
2019、2020年1-12月步进式光刻机进口量逐月数据图（单位：台）
对2020年1-12月步进式光刻机进口量逐月数据分析发现，并对比2019年同期数据可以明显看出，2020年步进式光刻机进口数量明显有所增加，且逐月变化较为明显，其中2020年1月受国内新冠肺炎疫情影响，步进式光刻机进口数量增长很少，2月份甚至呈现了负增长，3月数量持平。随着4月后疫情得到控制，步进式光刻机明显比2019年同期进口数量增长很多，这一趋势持续到了12月底。
2019、2020年1-12月步进式光刻机进口金额逐月数据图（单位：人民币/亿元）
对2020年1-12月步进式光刻机进口金额逐月数据分析，并对比2019年同期数据可以明显看出，步进式光刻机每月进口金额逐月起伏较大，和台数相比规律不明显，这可能是进口的光刻机型号不同、单价不同而引起的。其中，6、8月较去年增长幅度极高，远超去年同期，可能是进口了先进光刻设备。
2019、2020年1-12月步进式光刻机主要海关进口贸易伙伴数量（单位：台）
2019、2020年1-12月步进式光刻机主要海关进口贸易伙伴金额（单位：人民币/亿元）
2020年1-12月步进式光刻机海关进口贸易伙伴金额分布图
根据海关数据，近两年我国主要从荷兰、日本、美国、韩国、中国台湾、德国等国家进口步进式光刻机。其中2020年从荷兰进口金额最高，日本进口的台数最多，这表明从荷兰进口设备单价较高。从2019年到2020年，荷兰取代日本成为我国进口步进式光刻机金额最多的国家，且金额翻倍，而日本进口的设备数量虽然有所增加，但金额却急剧下降。从数据中可以看出，我国步进式光刻机未来对荷兰的依赖将越来越大，荷兰对日本光刻机造成了巨大的冲击。
2020年1-12月步进式光刻机进口企业注册地数量分布（单位：台）
2020年1-12月步进式光刻机进口企业注册地金额分布（单位：人民币/亿元）
通过海关进口步进式光刻机的企业注册地数据，可以大致了解到进口步进式光刻机在国内的“落脚地”。可以看出 ，2020年，江苏、上海、四川、山东等省市进口步进式光刻机数量较多，其中江苏和上海数量和金额都远超其他地区，这主要是由于这些地区是我国半导体相关产业比较发达的省份和地区。
2020年1-12月不同类型步进式光刻机进口数量（左）和金额（右）分布
从不同类型步进式光刻机进口数量和金额分布可以看出，进口步进式光刻机主要用于制造半导体器件或集成电路。
就海关进出口数据来看，步进式光刻机在国内的市场潜力非常巨大，2020年尽管新冠疫情爆发给各行各业造成一定影响，但我国步进式光刻机市场增长依然明显，但由于进口步进式光刻机荷兰和日本产品占据主流，受到美国贸易战影响较大，国内产线步进式光刻机的“去美化”迫在眉睫。
另一方面，由于国内掌握步进式光刻机所涉及的核心零部件、研发人才等仍然相对较少，DUV和EUV光刻机严重落于人后，尤其是在最先进的EUV步进式光刻机领域，更是一片空白。同时，由于半导体设备企业与晶圆代工厂的工艺深度绑定，也使得步进式光刻机为代表的半导体设备仍依赖进口，受制于人。不过，近年来随着以上海微电子等国内光刻机厂商的崛起，未来有望率先在28nm产线上国产光刻机获得一席之地。未来，伴随着中美半导体产业的争夺和全面“去美化”的浪潮，步进式光刻机的国内市场占有率将有望进一步提升。
