“光刻技术”相关的资讯

您的位置：中实仪信网 > 资讯 > "光刻技术"相关的实验室检测行业资讯 >

日前，中科院上海光机所信息光学与光电技术实验室提出了一种SMO关键图形筛选技术，以图形的主要频率表征图形特征。

标签：中科院筛选半导体半导体技术光刻技术亚微米级 2020-08-06 09:16

5月10日，记者从中科院长春光学精密机械与物理研究所获悉，来自该所等单位的研究人员，开发了一种新型飞秒激光等离子激元光刻技术（FPL）。

标签：新型飞秒激光等离子激元光刻技术飞秒激光激光等离子离子光刻技术 2020-05-12 11:18

按分类浏览

按标签浏览 更多>

专题报道 更多>

周一至周五 9:00-18:00
（其他时间联系在线客服）