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> "硅片"相关的实验室标准 >
《硅片薄膜厚度的测试 光学反射法》征求意见稿
《硅片薄膜厚度的测试 光学反射法》征求意见稿 本文件规定了采用光学反射法测试硅片表面二氧化硅或多晶薄膜层厚度的
标签:
硅片
薄膜
测试
光学
征求意见
2020-10-15 14:43
GB/T 6620-1995 硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T 6620-1995 硅片翘曲度非接触式测试方法本标准被GB/T 6620-2009代替。
标签:
GB/T
硅片
测试
测试方法
方法
2019-08-24 00:00
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