（1）准确度：也称精确度，即仪表的测量结果接近实值的准确程度。可以用绝对误差或相对误差来表示：
①绝对误差=测量值-真实值
②相对误差=绝对误差/真实值
任何仪表都不能绝对准确地测量到被测参数的真实值，只能力求使测量值接近真实值。在实际应用中，只能是利用准确度较高的标准仪表指示值来作为被测参数的真实值，而测量仪表的指示值与标准仪表的指示值之差就是测量误差。误差值越小，说明测量仪表的可靠性越高。
（2）重现性：是指在测量条件不变的情况下，用同一仪表对某一参数进行多次重复测时，各测定值与平均值之差相对于最大刻度量程的百分比。这是仪器、仪表稳定性的重要指标，一般需要在投运时和日常校核时进行检验。
（3）灵敏度：指的是仪表测量的灵敏程度。常用仪表输出的变化量与引起些变化的被测参数的变化量之比来表示。
（4）响应时间：当被测参数发生变化时，仪表指示的被测值总要经过一段时间才能准确地表示出来，这段和被测参数发生变化滞后的时间就是仪表的反应时间。有的用时间常数表示（如热电阻测温），有的用阻尼时间表示（如电流表测电阻）。
（5）零点漂移和量程漂移：是指对仪表确认的相对零点和最大量程进行多次测量后，平均变化值相对于量程的百分比。
