清洗用于痕量分析的各种附件是一项审慎而重要的实验流程。
传统的清洗方法是在热酸中浸泡数小时，但是这种方法不仅效率低、易造成大量的酸消耗，而且需要定期更换、热酸和酸蒸汽的暴露也往往给操作人员带来危险。
超净清洗器是一种自动、密闭、酸逆流系统，它能彻底、安全地清洗痕量分析所使用的各种附件。首先把需要清洗的容器放入超净清洗器中，设定需要的时间和温度，然后按“启动”。
新鲜的、由蒸馏而得来的酸蒸汽在密闭的腔体内将持续地逆流，十分彻底地清洗掉容器上的任何金属污染物。清洗完毕后，容器被冷却、干燥后储存备用。
1）微波消解罐的维炉
①炉腔要经常保待清洁，清洗时首先要切断电源，用软布擦拭，必要时可用洗涤剂清洗。
②消解炉的外表面也要保待清洁，在清洗时，防止水从透风口渗人。以免损坏内部的电路和工作部件。
③消解炉溶样完毕要及时用湿布擦拭炉腔，消除炉腔上的酸雾等污染物。
④假如消解炉长时间不用，应拔掉电源插头、放置在干操、透风，没有腐蚀性气体的环境中，用专用的仪器罩子罩好防尘。
2）微波消解罐的维护
①溶样完毕要及时清洗溶样杯，由于溶样杯的材料是聚四氟乙烯，因此可用各种无机酸浸泡清洗，可用软刷子洗刷样品残留物、可用超声波清洗器清洗、用酸洗涤后，先后用自来水冲洗、纯水洗涤、晾干待用。
②活塞密封碗的清洗可用稀酸浸泡后用水冲洗。
③消解罐的所有部件在使用前用软纸、干抹布擦干，使用后应及时用水洗涤至无酸味，然后用软纸、干布擦干待用。
④假如在使用过程中出硝酸雾泄漏，要立即停机，待压力下降后将消解罐的所有部件拆下。用水彻底清洗(禁止使用丙酮、乙醇等有机溶剂），然后在50℃的干燥箱巾干燥后再行使用。
⑤不要在消解罐内直接使用炸yao类的硝化纤维、TNT；肼、高氯酸铵；可自燃类混合物如硝酸与茶酚混合物，硝酸与三乙胺混合物，硝酸与丙酮的混合物等；乙炔化合物；丙烯醛;乙二醇、丙二醇；烷烃类、酮类化合物等。
显而易见，超净清洗器的优势在于可清洗掉所有酸中的任何痕量金属污染物，并将其留在液体酸中，绝不会接触已清洗干净的器件，可广泛用于清洗各种附件如小瓶、微波消解罐、烧瓶、玻璃器皿以及ICP/ICP-MS配件。
