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要得到质量好的SEM图像及稳定的EDS，WDS分析束流，首先要使SEM处于状态：仪器稳定，电子光学系统合轴良好，消除像散等。然后选择合适的工作条件，例如加速 电压，束流，束斑直径，物镜光阑孔径，工作距离，试样倾斜角度，消除试 样荷电等。另外，图像质量还与试样的原子序数，二次电子产额率，试样形貌特征等有关
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