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高精度激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
美国光动激光干涉仪校准步骤：先近后远，近调上下左右，远调俯仰扭摆。
1、架设好激光头后，先将激光头的左右、俯仰、扭摆居中，再将美国光动激光干涉仪激光头调至水平，在激光头上安装好标准光闸。
2、将线性干涉镜和测量反射镜置于较近位置，调节美国光动激光干涉仪干涉镜与反射镜之间的相对位置，
激光干涉仪以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪有单频的和双频的两种。
激光干涉仪的分类： 单频激光干涉仪 从激光器发出的光束，经扩束准直后
激光干涉仪是精度高的线性位移测量仪
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