四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。

    该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的专用仪器。

    高温四探针测试仪可以实现高温、真空及惰性气氛条件下测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率和外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其他导电薄膜的方块电阻。

    高温四探针测试仪的测量原理

    高温四探针测试仪广泛用于碳系导电材料、金属系导电材料、金属氧化物系导电材料、结构型高分子导电材料、复合导电材料等材料的电阻率测量。高温四探针测试仪过先进的测控软件可以显示出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线。

标签： 四探针测试仪 测试 测试仪 技术特点 2018-04-13 15:33