升华泵的主要部件是由活性金属钛(Ti)制作的灯丝。通过大电流加热灯丝,使Ti升华后吸附在腔体的内壁上。
因为Ti的化学反应活性高,立刻捕捉周围的气体分子并发生反应而生成稳定的化合物,从而达到获得真空的目的。
内壁上的Ti反应层和气体分子反应达到饱和后,可再
升华泵的主要部件是由活性金属钛(Ti)制作的灯丝。通过大电流加热灯丝,使Ti升华后吸附在腔体的内壁上。
因为Ti的化学反应活性高,立刻捕捉周围的气体分子并发生反应而生成稳定的化合物,从而达到获得真空的目的。
内壁上的Ti反应层和气体分子反应达到饱和后,可再次启