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低温泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果，是获得洁净真空的一种有效、快捷的方法。
低温泵能够达到极高真空(10-11 Pa)，有排气速度快、无油和安装方向不受限制等优点。
1—一级冷台；2—二级冷台；3—低温罩；4—屏蔽罩；5—挡板
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低温泵的一级冷台上，设置屏蔽罩和挡板，温度维持在80K。二级冷台维
通过低温介质将抽气面温度降低到20K以下，抽气面就可以冷凝沸点温度较低的气体，从而抽出大量的气体。
这种利用低温抽气面将气体冷凝的抽气泵叫低温泵，或冷凝泵。
是利用低温介质降低表面温度后将气体冷凝、吸附或是冷凝+吸附；
将被抽空间的压
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