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在许多材料的研究与应用中，需要用到一些特殊的仪器来对各种材料从成分和结构等方面进行分析研究。
其中，X射线能谱仪(XPS)就是常用仪器之一。下面详细介绍一下X射线能谱仪的基本原理、结构、优缺点及应用。
标签： X射线能谱仪 能谱仪 研究与应用 成分 分析研究 2018-06-12 14:23
严格讲能谱仪（EDS）准确定量应该用点分析方法，但对断口，腐蚀产物，粉体等不平试样，一般是不符合试样表面平、电子束垂直人射的EDS点定量分析条件，但在许多实际分析中，面扫描定量分析结果也非常有价值。实践证明，面扫描定量分析结果可以解释许多实际问题和科学问题。为了提高分析准确度，在可能的分析条件下，扫描
X-荧光能谱仪用于不同的检测目的，拥有各式各样的X荧光能谱仪，其中包括便携式荧光能谱仪可以在野外使用的简单仪器仪表和在实验室中使用的大型仪器，但其工作原理是类似的。该仪器主要分为四种系统：X-荧光激发源；X-荧光探测器；样品室；信号处理、数据计算系统。 据悉，便携式荧光能谱仪是根据同位素源为激发源
一、能谱仪与波谱仪简要： 能谱仪英文缩写是“EDS”，是利用电子与试样相互作用产生不同能量的特征X射线进行元素定性分析。能谱仪是将特征X射线作为不同能量的光子进行分析。 波谱仪英文缩写是“WDS”，是一种测定X射线的强度与波长函数关系的装置，波谱仪也是SEM（SEM
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