据介绍，最新采购的系列仪器技术先进，工艺完善，应用广泛。高分辨拉曼光谱仪可测量各种低维纳米材料的拉曼信号，表征材料分子结构，通过拉曼光谱的频移实现温度测量。根据国家重大科研仪器研制项目的需求，利用拉曼光谱仪实现纳米材料的瞬态测温，开发热扩散率测试仪器。
金属刻蚀机主要用于微纳加工工艺中8英寸及以下基片上的多种金属薄膜材料的刻蚀工艺。等离子增强化学气相沉积系统在半导体衬底或有机衬底上沉积高质量的介质薄膜，包括：氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy薄膜等。
公告显示，4批次项目共采购AFM原子力显微镜、压电XYZ闭环激光束扫描器、加热用激光器耦合光路、金属刻蚀机、等离子增强化学气相沉积系统、电感耦合等离子增强化学气相沉积系统等科研仪器设备。结果显示，堀场(中国)、慧创(北京)仪器设备、安科瑞泰科技等知名企业分别以296万元、299.6万元、239.2万元、219万元成功中标。其中，慧创仪器设备顺利中标金属刻蚀机、等离子增强化学气相沉积系统两项项目，成为本次采购的最大赢家。
客观来看，清华始终坚持面向世界科技前沿和国家重大战略需要，坚定地走中国特色自主创新之路。百年创新，硕果累累，在科技进步和学术发展中填补了一个又一个空白，刷新着一项又一项纪录，作出了重要的思想、理论和知识贡献。
