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  • 中国科学家通过低成本工艺制造出具有综合性能的柔性压力传感器
  • 近年来,柔性压力传感器件因在人机交互、电子皮肤、智能可穿戴等领域的广泛应用而越来越受到产、学、研界的关注。
  • 中科院研究员制备出的柔性压力传感器突破了技术局限
  • 研究人员利用传统微纳加工工艺、真空镀膜技术和激光划线工艺制备出顶部为微圆台结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)/掺铝氧化锌(AZO)、间隔层为光刻胶(PS)和底部叉指电极为聚酰亚胺(PI)/金(Au)的柔性压力传感器。
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