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检测技术
GB-T 14863-1993 用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的标准方法
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标准类别
国家标准
发布日期
1993-12-30
标准状态
已经废止
(标准状态仅供参考)
实施日期
1994-10-01
颁发部门
国家技术监督局
废止日期
标准介绍
GB-T 14863-1993 用栅控和非栅控
二极管
的电压-
电容
关系测定
硅外延层
中净载流子
浓度
的标准方法
本标准规定了用栅控和非栅控二极管的
电压-电容
关系测定硅外延层中净载流了浓度的原理、仪器与材料、样品制备、测量步骤和数据处理。
本标准适用于外延层厚度不小于某一最小厚度值(见附录B)的相同或相反导电类型衬底上的n型或p型外延层,也适用于体材料。
相关标签:
二极管
电压-电容
电容
硅外延层
流子浓度
浓度
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