1，短时间不用，最好待机
质量分析器、检测器放置在低真空中，有利于延长使用寿命。ICP-MS熄火待机时，虽然隔离阀(Gate valve)关闭，但负责[透镜-质量分析器-检测器]这一块真空区的分子泵仍在工作。如果彻底关机，则所有机械泵、分子泵都停止工作。所以短时间不用质谱的话，最好还是待机吧。
2，长时间不用，可以停机
仪器长期不用停机时，确保环境灰尘尽量少，温湿度合适。另外每隔一至两周开机预热1~2小时，以延长使用寿命。如果停机时间更长，则最好每隔3～4个月将元素灯点燃2～3个小时，以保障元素灯的性能，否则容易因为漏气等原因导致元素灯无法点燃。
