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一、能谱仪与波谱仪简要: 能谱仪英文缩写是“EDS”,是利用电子与试样相互作用产生不同能量的特征X射线进行元素定性分析。能谱仪是将特征X射线作为不同能量的光子进行分析。 波谱仪英文缩写是“WDS”,是一种测定X射线的强度与波长函数关系的装置,波谱仪也是SEM(SEM
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