真空镀膜机的厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看（也是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好；
可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。
但是如果是指原子层
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类;
包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
电控柜操作
1.开水泵、气源。
2.开总电源。
