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1、元素定性分析 各种元素都有它的特征的电子结合能，因此，在能谱图中就出现特征谱线，可以根据这些谱线在能谱图中的位置来鉴定周期表中除H和He以外的所有元素。通过对样品进行全扫描，在一次测定中就可以检出全部或大部分元素。 2、元素定量分折 X射线光电子能谱定量分析
X射线光电子能谱就是用X射线照射样品表面，使其原子或分子的电子受激而发射出来，测量这些光电子的能量分布，从而获得所需的信息。通过对样品进行全扫描，在一次测定中即可检测出全部或大部分元素。因此，XPS已发展成为具有表面元素分析、化学态和能带结构分析以及微区化学态成像分析等功能强大的表面分析仪器。
x射线光电子能谱以X射线为激发光源的光电子能谱，简称XPS或ESCA。
一、X光电子能谱分析的基本原理： X光电子能谱分析的基本原理是一定能量的X光照射到样品表面，和待测物质发生作用，可以使
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