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> "特种气体"相关的实验室检测行业资讯 >
特种气体系统的设计与施工
一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中,全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。
标签:
特种气体
气体
施工
集成电路
电路
硅片
2019-04-12 16:27
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