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> "光学关键尺寸量测系统"相关的实验室检测行业资讯 >
精测电子开发了膜厚量测设备以及光学关键尺寸量测系统
近日,武汉精测电子集团股份有限公司表示,上海精测半导体技术有限公司以椭圆偏振技术为核心开发的适用于半导体工业级应用的膜厚量测设备以及光学关键尺寸量测系统,已经取得长江存储、广州粤芯等国内半导体客户的批量重复订单;电子显微镜相关设备已完成首台套的交付。
标签:
精测电子
膜厚量测设备
光学
光学关键尺寸量测系统
关键尺寸
2021-04-01 13:51
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